日前，由沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司承擔(dān)的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“IC裝備機(jī)械手及硅片傳輸系統(tǒng)系列產(chǎn)品研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目在沈陽(yáng)順利通過(guò)技術(shù)和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。項(xiàng)目開(kāi)發(fā)的兩大類(lèi)直驅(qū)型真空機(jī)械手產(chǎn)品、新型大氣機(jī)械手系列化產(chǎn)品、面向光刻機(jī)硅片傳輸?shù)膯坞p臂機(jī)械手產(chǎn)品和面向刻蝕機(jī)、CVD（化學(xué)氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）和CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）等整機(jī)設(shè)備配套的EFEM（設(shè)備前端模塊）系列化產(chǎn)品，可以廣泛應(yīng)用在集成電路的多個(gè)領(lǐng)域，是我國(guó)在集成電路領(lǐng)域取得的一項(xiàng)重大研究成果，徹底打破了國(guó)外的技術(shù)封鎖。

　　該項(xiàng)目由沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司聯(lián)合上海交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等國(guó)內(nèi)著名高校采取產(chǎn)學(xué)研合作方式，進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān)。通過(guò)攻克真空（超凈）環(huán)境下的大間隙直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和控制、多軸同軸直接驅(qū)動(dòng)與真空隔離、高真空與高潔凈環(huán)境下精密伺服控制、真空機(jī)械手新構(gòu)型等共性關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出了真空機(jī)械手產(chǎn)品、新型大氣機(jī)械手系列化產(chǎn)品、面向光刻機(jī)硅片傳輸?shù)膯坞p臂機(jī)械手產(chǎn)品以及EFEM系列化產(chǎn)品。并在北京北方微電子設(shè)備有限公司、沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司等企業(yè)完成了示范應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了IC裝備機(jī)械手及系統(tǒng)裝備的國(guó)產(chǎn)化。項(xiàng)目執(zhí)行周期內(nèi)，累計(jì)實(shí)現(xiàn)各類(lèi)機(jī)械手、EFEM等設(shè)備銷(xiāo)售收入16042.27萬(wàn)元。

該項(xiàng)目是我國(guó)在集成電路領(lǐng)域，在潔凈物料自動(dòng)傳輸方向進(jìn)行的一次嘗試和探索，項(xiàng)目研發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的IC裝備機(jī)械手及硅片傳輸系統(tǒng)不僅滿(mǎn)足了本國(guó)企業(yè)的迫切需求，同時(shí)打破了國(guó)外IC裝備企業(yè)在國(guó)內(nèi)的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)物料搬運(yùn)和自動(dòng)化裝載系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化，進(jìn)而推動(dòng)了我國(guó)IC裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并帶動(dòng)整個(gè)裝備制造的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加速了我國(guó)裝備制造業(yè)向高端領(lǐng)域進(jìn)軍。

來(lái)源：遼寧省科技廳